氟素橡胶垫片
产品描述
半导体专用氟素橡胶垫片
半导体设备用FKM氟素橡胶垫片，採用高纯度氟橡胶（Fluoroelastomer, Viton®）材质，具备优异的耐高温与抗化学腐蚀特性，广泛应用于高洁净、高精密的半导体制程设备
耐高温性能优异
FKM可长时间承受高达 200°C 以上的工作温度，瞬间耐温更可达 250°C，特别适合用于高温真空腔体或热制程设备中。
抗化学性强
能耐受各式酸硷、有机溶剂、氧化剂与腐蚀性气体，如氢氟酸（HF）、O₃（臭氧）与各类清洗制程化学品，降低垫片劣化风险。
极佳气密性
具有卓越的气密封性，可防止气体或化学气体洩漏，是高真空环境不可或缺的密封材料。
低粒子污染与低金属含量
经特殊配方与洁净加工处理，有效降低离子迁移与金属污染，符合半导体制程的低金属离子析出标准。
优异耐压缩永久变形性能（Low Compression Set）
长时间使用后仍能维持稳定的密封力，提升设备运转稳定性与寿命
专业制造橡胶,硅胶配件的优良厂商,提供橡胶,硅胶原物料均已通过 UL、SGS、RoHS 、FDA、NFS、WRAS、...检验合格,橡胶,
硅胶原物料经国际专业认证,橡硅胶原料经得起考验
半导体专用氟素橡胶垫片（FKM）特性：
1. 耐高温性能优异
长时间可耐受 200°C~250°C（特殊配方可达 300°C）
适用于半导体设备之 高温真空炉、热处理、干蚀刻 制程
2. 卓越的耐化学性
抗多种腐蚀性气体与液体：酸、硷、溶剂、等离子气体
特别适用于 清洗机、蚀刻/剥离制程、湿制程（Wet Bench）
3. 高洁净等级
低金属离子、低污染排放，不会污染晶圆
可提供 等离子防蚀等特殊配方（如FFKM或Plasma Grade）
4. 出色的耐真空稳定性
低气体透过率、低粒子生成量，适合 超高真空（UHV）应用
避免真空腔体内因气体逸散而污染制程
5. 优良机械物性
优异的抗压缩永久变形（C.S.）
维持长时间密封力，防止微洩漏（leakage）
全氟橡胶垫片（FFKM或FFPM）是一种高性能的密封材料，因其独特的分子结构而具有优异的耐化学性与耐高温性能。这类垫片结合了聚四氟乙烯（PTFE）卓越的耐化学腐蚀性和高温稳定性，以及氟橡胶的弹性体特性，使其在极端环境中依然保持优良的弹性与密封效果。
全氟橡胶垫片的特点
1.卓越的耐化学性：能够抵抗几乎所有的化学品，包括强酸、强硷、溶剂和氧化剂。
2. 高温稳定性：具备PTFE级的耐高温特性，可在超过300℃的温度下长时间稳定工作。
3. 优异的弹性体性能：不同于纯PTFE的刚性，FFKM拥有氟橡胶的弹性，因此在高温和腐蚀环境下可以保持密封完整性。
4. 低渗透性：具有良好的气体渗透阻隔效果，适合用于真空、高压等要求严苛的场合。
应用场合
全氟橡胶垫片广泛应用于化学工业、石油天然气、半导体制造、药品和生物医学领域中。尤其在需要极高密封性的情况下，如高温高压反应器、泵阀、化学处理设备和精密仪器中，FFKM垫片是不可或缺的密封解决方案。
优势
全氟橡胶垫片的耐用性和抗腐蚀特性，让其在极端工作环境中能提供长期稳定的密封性能，降低了设备维护频率并延长了使用寿命。
杰勤实业｜FKM / Viton® 氟橡胶专家｜高氟与全氟橡胶密封件、垫片、O型环制造加工
杰勤实业有限公司专注于生产与开发各类高性能氟橡胶（FKM / Viton®）产品，包含 O-ring、密封垫片、防化学圈、真空密封件 等，广泛应用于 汽车、化工、航太、半导体、医疗设备与重工业。我们提供从原材料选型、模具设计到高精度成型加工的一站式OEM/ODM服务，符合国际标准如 RoHS、REACH、FDA等。
FKM氟橡胶是什么？
氟橡胶（Fluoro Rubber / FKM / FPM / Viton®）是一种全合成高分子弹性体，具备优异的 耐高温、耐油、耐化学腐蚀、耐燃料与耐老化性。FKM广泛应用于严苛环境下的密封与防护，尤其适用于与石化溶剂、强酸硷、燃油接触的环境。
- FKM氟橡胶等级分类：依据含氟量区分
| 等级 | 含氟量 (%) | 特性概述 | 适用产业 |
| 一般FKM | 约66% | 标准Viton橡胶，具良好耐热与耐油性 | 汽车、机械、工业密封 |
| 高氟FKM | 67–70% | 提升化学稳定性与耐腐蚀性，适合中度化学环境 | 化工设备、真空机械 |
| 全氟FFKM | 70%以上 | 极致耐化、耐高温、超低污染，应用于最严苛环境 | 半导体制造、航太、医疗器械 |
一、高氟橡胶（High Fluorine FKM）
高氟FKM是原胶含氟量 **67\~70%** 的氟橡胶材料，相较一般等级，提供更优异的耐化性与高温稳定性。
材质特性：
*极高耐腐蚀性**：抵抗强酸、强硷、有机溶剂、氧化剂
*耐高温性能优越**：可长时间耐温至250°C以上。
*电绝缘性良好**：应用于高频设备、电力工业。
*抗污染、低表面能**：不易吸附污染源，易于清洁。
应用产业：
* 石油化工设备密封
* 高温化学反应炉用密封圈
* 半导体晶圆制程周边
* 食品级设备接触部件（需符合FDA）
二、全氟橡胶（Perfluoroelastomer / FFKM）
全氟橡胶FFKM原胶含氟量超过**70%**，是目前市场上**耐化学性最强的橡胶材质之一**，适用于极端环境中。
材质特性：
*极致抗化性**：可长期接触各类强腐蚀介质。
*超高耐热性**：热稳定性高达300°C。
*优异电绝缘与气密性**：适用于高压与真空系统。
*无毒、低污染**：非常适合高洁净产业如半导体与生医。
应用产业：
* 半导体真空腔体密封
* 液晶制造设备密封元件
* 生物医疗级抽吸/导流O型环
* 高端石化厂反应炉系统
杰勤实业提供的FKM产品类型：
| 产品类型 | 加工方式 | 产品特点 |
| ---------- | ----------- | -------------- |
| FKM O-ring | 模压、射出成型 | 高温高压密封，耐酸硷 |
| FKM垫片 | CNC切割、模切加工 | 客制化尺寸、气密性佳 |
| FKM异型件 | 图面开模、复杂结构制作 | 适用于特殊设备/模组封装 |
| 液态FKM | LSR液态射出 | 高洁净、高弹性，适医疗与AI |
-为什么选择杰勤实业？
* 超过20年橡胶与硅胶制造经验
*专精于FKM、FFKM与液态LSR制品生产
*通过ISO 9001、RoHS、REACH品质体系认证
*提供客制开模设计、少量试样快速打样
*支援AI模组与半导体应用所需的高洁净规格
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原产地：台湾
销售方式：制造、批发、合作、出口
销售目标市场：台湾、中国大陆、香港、新加坡、全球、东南亚、北美洲
询价付款方式：T.T. 电汇
竞争特点
接受独特设计或logo：可接受特别设计或LOGO
适用于促销品或礼赠品
多样设计：杰勤实业有限公司提供氟素橡胶垫片的多样化设计
氟素橡胶垫片接受进行原厂委託设计制造ODM
氟素橡胶垫片接受进行原厂委託代工制造OEM